Азот трифлуорид (NF3) гас со висока чистота
Основни информации
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Што е овој материјал?
Азот трифлуорид (NF3) е гас без боја и мирис на собна температура и атмосферски притисок. Може да се втечнува под умерен притисок. NF3 е стабилен во нормални услови и не се распаѓа лесно. Сепак, може да се распадне кога е изложен на високи температури или во присуство на одредени катализатори. NF3 има висок потенцијал за глобално затоплување (GWP) кога се ослободува во атмосферата.
Каде да се користи овој материјал?
Средство за чистење во електронската индустрија: NF3 е широко користен како средство за чистење за отстранување на преостанатите загадувачи, како што се оксидите, од површините на полупроводниците, панелите за плазма приказ (PDP) и други електронски компоненти. Може ефикасно да ги исчисти овие површини без да ги оштети.
Гас за офорт при производство на полупроводници: NF3 се користи како гас за офорт во процесот на производство на полупроводници. Тој е особено ефикасен во гравирањето на силициум диоксид (SiO2) и силициум нитрид (Si3N4), кои се вообичаени материјали што се користат во производството на интегрирани кола.
Производство на соединенија на флуор со висока чистота: NF3 е вреден извор на флуор за производство на различни соединенија што содржат флуор. Се користи како претходник во производството на флуорополимери, флуоројаглероди и специјални хемикалии.
Генерирање на плазма во производството на екрани со рамни панели: NF3 се користи заедно со други гасови за создавање на плазма во производството на рамни екрани, како што се дисплеи со течни кристали (LCD) и PDP. Плазмата е од суштинско значење во процесите на таложење и офорт за време на изработката на панелите.
Имајте предвид дека специфичните апликации и прописи за употреба на овој материјал/производ може да се разликуваат во зависност од земја, индустрија и цел. Секогаш следете ги безбедносните упатства и консултирајте се со експерт пред да го користите овој материјал/производ во која било апликација.
